鋼研納克掃描電鏡假期開關(guān)機(jī)指南
新春假期將至，各位實(shí)驗(yàn)室老師是否已做好精密設(shè)備的假期養(yǎng)護(hù)準(zhǔn)備？掃描電鏡的規(guī)范開關(guān)機(jī)，是保障設(shè)備節(jié)后穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。納克微束特整理鎢燈絲掃描電鏡SE-800及場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡FE-1050T/FE-2050T開關(guān)機(jī)指南，為您的設(shè)備假期安全保駕護(hù)航。
1、關(guān)機(jī)方案
根據(jù)假期長(zhǎng)短制定相應(yīng)的關(guān)機(jī)方案。短期假期（≤1周）且實(shí)驗(yàn)室不斷電，建議執(zhí)行省電模式；長(zhǎng)期假期（＞1周），建議執(zhí)行整機(jī)斷電關(guān)機(jī)程序。
2、標(biāo)準(zhǔn)關(guān)機(jī)流程
1）短期假期（≤1周），省電模式
① 取出樣品，退出所有探測(cè)器，將樣品臺(tái)返回至初始位置；
② 關(guān)閉倉(cāng)門抽真空，抽真空不少于3分鐘；
③ 在軟件中點(diǎn)擊省電模式按鈕；
④ 退出電鏡軟件，按正常程序關(guān)閉電腦。
2）長(zhǎng)期假期（＞1周），關(guān)閉高壓發(fā)射后，省電模式，斷電
同上①-④步后，⑤旋停主機(jī)后邊的旋鈕總開關(guān)。
1）短期假期（≤1周）
① 打開電腦，登錄軟件；
② 取消省電模式并抽真空。
2）長(zhǎng)期假期（＞1周）
① 打開主機(jī)后邊的旋鈕總開關(guān)；
② 后續(xù)步驟同上①-②步驟。
1、關(guān)機(jī)方案
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡要求實(shí)驗(yàn)室假期保持供電。根據(jù)假期長(zhǎng)短，制定相應(yīng)的關(guān)機(jī)方案。
2、標(biāo)準(zhǔn)關(guān)機(jī)流程
1）對(duì)于短期假期（≤1周）
① 選擇***大FOV，樣品臺(tái)降至HOME位置，退出BSE探頭。卸載主倉(cāng)室真空，取出樣品；
② 關(guān)閉倉(cāng)門抽真空，不少于3分鐘；
③ 點(diǎn)擊用戶界面的省電模式按鈕，進(jìn)入省電模式；
④ 退出SEM操作界面，關(guān)閉電腦主機(jī)。
注意：切勿關(guān)閉電鏡總電源。此狀態(tài)下離子泵、電子槍正常工作。
2）長(zhǎng)期假期（＞1周）
① 取出樣品，退出所有探測(cè)器，將樣品臺(tái)返回至初始位置；
② 關(guān)閉倉(cāng)門抽真空，不少于3分鐘；
③ NCS VISION軟件，在SEM、FEG HV Control菜單里，點(diǎn)擊Power Off，關(guān)閉高壓；
④ 把掃描電鏡切換到省電模式；
⑤ 退出SEM操作界面，關(guān)閉電腦主機(jī)。
3、標(biāo)準(zhǔn)開機(jī)流程
1）短期假期（≤1周），軟件切換到省電模式情況
① 打開電腦，登錄軟件；
② 取消省電模式并抽真空。
2）長(zhǎng)期假期（＞1周），僅關(guān)閉高壓發(fā)射，軟件切換到省電模式情況
① 打開電腦，登錄軟件。觀察鏡筒的真空值（＜1.0×10-7Pa），點(diǎn)擊PUMP抽真空；
② 在SEM、FEG HV Control菜單里，點(diǎn)擊Power On，開啟高壓。
03
確保溫度、濕度符合設(shè)備使用要求。溫度17-24℃，相對(duì)濕度＜65%。避免粉塵、振動(dòng)和強(qiáng)電磁干擾。
開啟省電模式的設(shè)備，確保電源供應(yīng)穩(wěn)定。檢查壓縮空氣系統(tǒng)，確保輸出壓力穩(wěn)定、無漏氣現(xiàn)象。整機(jī)關(guān)機(jī)斷電的設(shè)備，關(guān)注防塵和防潮。
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